14nm国产“小光刻机”量产！惠然微电子攻克晶圆在线量测卡脖子难题：效率提升10倍
快科技9月2日消息，半导体量检测设备企业惠然微电子近日披露了其电子束关键尺寸量测设备（CD-SEM）国产化的最新进展。CD-SEM被业界称为"小光刻机"，是国产化率第二低的半导体设备品类，仅次于光刻机。惠然微电子董事长王志刚博士在接受媒体采访时指出，CD-SEM国产化面临跨学科技术集成、经验know-how积累、供应链配套三重核心壁垒。14nm国产“小光刻机”量产！惠然微电子攻克晶圆在线量测卡脖子难题：效率提升10倍惠然微基于电子束共性技术平台，已形成"半导体+泛半导体/科仪...