东微电子重大突破 自研光刻机核心零件通过中芯国际、长鑫存储认证
快科技8月7日消息，日前，河南东微电子材料有限公司（以下简称"东微电子"）宣布，其自主研发的光刻机用直线电机、光源、光纤、磁座等关键零部件，正式通过中芯国际和长鑫存储严格认证。...
zhiyongz
2025-08-07 11:05:51阅读：19
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